Advanced Research Center for Nanolithography (ARCNL)
Das Advanced Research Center for Nanolithography ist ein Forschungsinstitut, das sich mit der grundlegenden Physik und Materialwissenschaft hinter der Nanolithographie befasst. Seine Forschung unterstützt Schlüsseltechnologien der Halbleiterindustrie und verbindet naturwissenschaftliche Grundlagenerkenntnis mit künftigen technologischen Anwendungen.
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